寶帝邀您共赴Semicon盛會(huì)，解鎖半導(dǎo)體應(yīng)用流體控制新方案

更新時(shí)間：2025-03-25 點(diǎn)擊次數(shù)：1036

SEMICON China 2025也已進(jìn)入開幕倒計(jì)時(shí)狀態(tài)！作為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的年度盛事，今年的SEMICON China又將帶來哪些驚喜呢？今天，寶帝與您一起探索SEMICON China 2025的參觀攻略，為你揭開這場科技盛宴的神秘面紗！

展會(huì)邀請

INVITATION

展會(huì)將于2025年3月26至28日，在上海新國際博覽中心舉辦，展會(huì)將涵蓋半導(dǎo)體制造、封裝測試、設(shè)備材料等多個(gè)領(lǐng)域，寶帝誠邀您前來交流，一同探索半導(dǎo)體應(yīng)用中的流體控制技術(shù)！

寶帝邀您共赴Semicon盛會(huì)，解鎖半導(dǎo)體應(yīng)用流體控制新方案

以創(chuàng)新方案，面對挑戰(zhàn)

用于刻蝕鍍膜冷卻工藝解決方案

Bürkert 參與的刻蝕鍍膜冷卻環(huán)節(jié)：反應(yīng)腔室、E-CHUCK、分子泵/真空泵、射頻電源等。

ESC Cooling

ESC 是刻蝕機(jī)中的核心部件，其冷卻系統(tǒng)至關(guān)重要，Bürkert 針對該工藝提供解決方案：

雙通道閥門 - 開關(guān)

通過 2 組Burkert氣動(dòng)閥的高頻開關(guān)控制 Chiller 的高低溫氟化液匯流循環(huán)，以實(shí)現(xiàn)機(jī)臺(tái)的調(diào)溫目的。

雙通道閥門 - 控制

通過2組Burkert電動(dòng)閥的控制 Chiller 的高低溫氟化液匯流循環(huán)，以實(shí)現(xiàn)機(jī)臺(tái)的無極調(diào)溫目的。

PCW Cooling

Bürkert 解決方案可用于控制 2-3 路 DI water，各支路數(shù)據(jù)通過工業(yè)以太網(wǎng)網(wǎng)關(guān)采集和交換，實(shí)現(xiàn)控制、監(jiān)控和診斷，以實(shí)現(xiàn)冷卻水的閉環(huán)控制。

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測試分選機(jī)高效冷卻解決方案

測試分選機(jī)在高負(fù)荷運(yùn)行時(shí)，發(fā)熱問題嚴(yán)重影響設(shè)備穩(wěn)定性和使用壽命。Bürkert 冷卻系統(tǒng)解決方案通過工業(yè)以太網(wǎng)通訊，實(shí)現(xiàn)采集和交換、控制、監(jiān)控和診斷，提升設(shè)備整體性能和效率，確保測試分選機(jī)穩(wěn)定運(yùn)行。